10月27日,第二屆中國·如皋第三代半導體及智能制造國際研討會在江蘇如皋舉行。此次研討會,以“廣納高端人才智力,助推實體經濟發展”為主題,圍繞第三代半導體及智能制造方面開展了學術研討和技術交流,吸引俄羅斯、烏克蘭、德國等多國的知名學者參加。來自中國工程院、復旦大學、哈爾濱工業大學等數十家重點高校、科研院所的行業領軍人物,與上百家半導體企業人士濟濟一堂深入交流。會上,中烏第三代半導體產業技術研究院宣布成立并落戶如皋。 　　成果斐然:雙良新能源與卓遠半導體簽訂協議

在江蘇卓遠半導體設備及碳化硅晶體材料生產項目現場,雙良節能系統股份有限公司(以下簡稱“雙良節能”)的子公司江蘇雙良新能源裝備有限公司(以下簡稱“雙良新能源”)與江蘇卓遠半導體有限公司(以下簡稱“卓遠半導體”)就“集成電路級大尺寸高性能單晶硅的生長智能裝備技術的開發合作”、“第三代半導體碳化硅晶體批量生產項目的量產化技術合作”簽署戰略合作協議。

強強聯合實現高端制造轉型

此次雙良新能源與卓遠半導體強強聯合,旨在以國家大力發展半導體產業、地方產業創新升級為契機,通過戰略合作實現雙方優勢互補,填補國內大尺寸單晶硅生產設備領域空白,并推動第三代半導體碳化硅(SiC)晶體量產化,實現國內半導體產業在高端裝備制造領域自主化取得新突破。

作為落戶如皋市高新區的重點產業項目,由江蘇省“雙創”人才、留德博士張新峰領銜的卓遠半導體,充分發揮團隊在設備和熱場設計、軟件開發、工藝研發等方面的高層次技術優勢,目前正著力發展“第三代半導體”碳化硅(SiC)晶體的裝備制造和晶圓生產業務。團隊擁有多學科核心研發人員 22 名,其中博士及以上學歷 7 名,在半導體晶體領域擁有豐富的學術理論和實操經驗,并借助德中工業創新發展中心和海內外高等院所,開展人才引進與人才培養,進一步加強團隊建設。

此次合作,卓遠半導體能夠依托雙良的質量體系管控實力、多晶硅裝備制造核心技術和自動化控制系統開發能力、相關產業設施配套資源,以及雙良節能旗下的雙良低碳產業技術研究院的團隊支持,在單晶爐設備研發方面獲得最優最快的機械加工制造條件和行業生產經驗。雙良將借助卓遠半導體在晶體材料及全自動智能設備制造方面的專業經驗和優勢資源,快速進入半導體單晶爐及第三代半導體碳化硅高端裝備制造領域,進一步實現由傳統制造向高科技智能制造的轉型升級。

掌握核心技術加速高端設備國產化

雙良低碳產業技術研究院章國明博士介紹,單晶硅是一種半導電性顯著的材料,以高純度(99.9999999%至99.9999999999%)的多晶硅為原料,通過單晶爐拉制而成。這種良好的半導體材料被廣泛用于制造超大規模集成電路、半導體芯片、記憶體芯片和中低頻、中低功率器件等,是現代信息社會不可或缺的基礎物質。由于單晶硅在諸多領域有著不可替代的地位,歐美日等國紛紛將其提升至國家戰略層面,爭搶技術制高點。

伴隨半導體信息產業的迅猛發展,單晶硅材料與單晶爐的市場需求都十分旺盛。據Yole Development(法國知名市場調研和戰略咨詢公司)預計,未來五年,IC硅(電子級硅)市場將持續供不應求,豐厚的市場回報將進一步支撐技術開發,持續拉大技術差距。

我國目前已較為全面地布局了IC 硅全產業鏈,并在磊晶階段日趨成熟,但在晶圓和設備制造環節仍在努力實現突破。

目前,世界市場上90%的電子級大尺寸單晶片供應都由世界前五家頭部企業壟斷。國內用于制造大規模集成電路的 8-12 英寸單晶硅,絕大部分來自進口。而用于制造極大規模集成電路的大直徑(12英寸以上)高性能單晶硅,其生長工藝、設備技術等更被國外企業壟斷。

中國企業要想不被“卡脖子”,瞄準世界水平實現技術追趕、并憑借市場彎道超車,單晶硅及其生產裝備完全自主化是必由之路。在國家政策與市場機遇的驅動下,雙良攜手卓遠半導體,開啟“大直徑高性能單晶硅生長設備研發”,具有重要而深遠的意義。

早在進入多晶硅行業之初,雙良新能源就始終堅持多晶硅還原核心系統的研發,勇于打破國內多晶硅技術和市場長期被國外公司壟斷的局面,掌握核心技術領域的主動權。通過攻克生產運行工況、材料、結構、制作和表面處理等一系列難題,集成底盤、鐘罩、供電系統、絕緣系統、供料系統和冷卻系統等,打造出了擁有自主知識產權的高質量國產設備。憑借在多晶硅還原爐領域的厚積薄發,雙良新能源已形成一套完善的還原技術研發體系,研制的還原爐電耗低、純度高、產量大,綜合技術水平業內領先。

做半導體行業的系統設備集成服務商

目前,雙良還原爐系列已擁有18對棒、24對棒、36對棒、40對棒、48對棒、72對棒的規格。按照電子級多晶硅要求設計制造的24對棒還原爐也已取得了成功應用,在性價比方面相較進口設備更具競爭優勢。

矢志創新、銳意進取的雙良新能源,是中國多晶硅行業發展的推動者和見證者。

雙良新能源始終踐行“一切以客戶為中心”的理念,以嚴謹的技術作風和誠信務實的服務,與國內二十多家多晶硅企業保持戰略合作關系,誓做多晶硅行業的專業系統設備集成服務商。在全球產能逾萬噸級的18家企業中,有10家來自中國,雙良設備為這10家多晶硅行業骨干企業提供持續、穩定、健康的服務。迄今為止,雙良新能源已累計為全國多晶硅企業提供了五千多套生產設備,其中除還原系統外還包括精餾塔、雙管板換熱器和大型吸附設備等。

1982年創立的雙良,矢志不渝興民族工業,創民族品牌。在傳統制造業面臨新一輪科技革命和產業變革的當下,雙良牢記初心使命,向著高端產品智能制造、服務型制造的高質量發展目標,接續奮斗前行。站在新的高技術領域,雙良將與卓遠半導體攜手共進,為中國半導體產業發展注入新活力,做出新貢獻。