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    真空密封金屬件
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    真空密封金屬件

    2015-08-25 09:24

    真空聯機密封性能取決于聯接處的泄露和真空材料的放氣。對任何真空系統總希望漏、放氣量與密封形式、密封材料、加工精度及裝配質量等諸多因素有關,故在聯接處總會存在一定的漏、放氣量,因此可根據真空系統工作的性質,真空室工作工作應力的高低及其出口處抽氣速度的大小提出要求。

    真空系統中的壓力在高于10-5Pa真空范圍內廣泛使用合成橡膠、環氧樹脂和塑料。當真空度提到壓力10-7Pa的真空范圍時,這些密封材料就不能用了,需要應用超高真空的密封材料如金或銅作墊圈,而真空殼體不能用軟剛需要改用不銹鋼。+ f6 E* b# x. A1 c9 x3 X3 z& P   超真空氣體內的氣體狀態是動態平衡狀態。

    系統內的壓力極限,一方面與泵的有效抽速有關,另一方面與來自真空殼體及其內部的零部件的氣流量有關。因雖有系統的有效抽速由于泵有結構尺寸和費用的原因,總存在實際限制。所以,減少氣流量就成為達到超高真空狀態的基本設計目標,成為選擇超高真空材料的主要準則。8 q- D( R3 @2 s4 X; V8 B   作為真空系統內部用的材料,要求飽和蒸汽壓低,為了減少慢性解吸和體出氣,要求能耐450℃高溫烘烤,而不降低機械強度和不發生化學和物理損傷。

    作為真空系統殼體材料,要求能忽略氣體滲透,承受得住大氣壓的壓力,烘烤期間耐空氣侵蝕和不發生漏氣。此外,要求選用材料,加工制作容易,價廉易得。  對于真空度低于10-7Pa的超高真空,雖然天然和合成橡膠是理想的密封圈材料,彈性好,裝配成真空密封后法蘭螺栓受力很小,而且可以多次重復使用。但由于超高真空系統要求密封圈材料耐250℃烘烤,實際上可可供選用的幾種橡膠材料都不能滿足要求。真空度更高(即壓力更低)的超高真空,則必須采用金屬密封。
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